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7.CMP抛光用陶瓷载盘
我司可提各种规格的供用于化学机械抛光用的陶瓷载盘。 该载盘可以用于抛光3, 4, 5, 6英寸的晶圆。并且有着较好的平坦度的平行度，材料结合精密且有着均一的微观结构。
特性：
热传导性好
平坦度高且无变形
无空洞，划痕和裂纹
直径
平坦度
D410mm
2μm
D360mm
D305mm
